PVD涂层镀膜设备使用的注意事项

设备安装与环境要求
安装位置:PVD 涂层镀膜设备应安装在平稳、坚固的地面上,避免设备因放置不稳而产生振动,影响镀膜质量。同时,设备周围要预留足够的空间,方便操作、维护和通风散热。
环境条件:设备所处的环境要保持清洁、干燥。灰尘和杂质可能会混入镀膜过程中,影响膜层质量,因此要尽量减少周围环境中的灰尘来源。另外,环境的相对湿度一般应控制在 40% - 60%,过高的湿度可能导致设备部件生锈、电气故障,还可能使镀膜过程中产生的金属蒸汽凝结。同时,要避免设备暴露在有腐蚀性气体或液体的环境中。
电力供应:设备需要稳定的电力供应,电压波动范围应在设备规定的允许范围内,通常要求电压波动不超过 ±10%。为了确保设备的安全运行,需要配备单独的稳压电源和接地系统,防止因电力问题导致设备损坏或发生安全事故。
开机前的准备工作
检查设备外观:仔细检查设备的各个部分,包括真空室、管道、阀门、电极等,看是否有损坏、变形、松动或异物。特别要注意真空室门的密封情况,密封不良会导致真空泄漏,影响镀膜效果。
检查气体系统:确认所需的镀膜气体(如氩气、氮气等)的供应情况。检查气体管路是否连接正确、牢固,气体压力是否符合要求。同时,要确保气体纯度达到设备规定的标准,不纯的气体可能会影响膜层的性能和质量。
检查冷却系统:如果设备有冷却系统,要检查冷却液的液位、流量和温度。确保冷却系统能够正常工作,因为在镀膜过程中,许多部件(如电源、靶材等)会产生热量,需要通过冷却系统来维持正常的工作温度。
检查真空系统:开机前要检查真空泵的油位和油质。油位过低会影响真空泵的抽气性能,油质变差则可能导致真空泵故障。同时,要检查真空计等真空检测设备是否正常工作。
开机与运行过程中的注意事项
按照正确顺序开机:严格按照设备操作手册规定的顺序开机。一般先开启总电源,然后启动冷却系统,接着开启真空系统进行抽气,待真空度达到一定要求后,再开启镀膜电源等其他设备。例如,在开启真空系统时,要等待真空泵预热完成后再启动抽气操作,否则可能会损坏真空泵。
监控设备参数:在设备运行过程中,要密切关注各种参数,如真空度、气体流量、温度、电流、电压等。这些参数的变化会直接影响镀膜质量和设备的安全。例如,真空度不够会导致膜层疏松、附着力差;温度过高可能会损坏设备部件。如果发现参数异常,应立即停止镀膜操作,查找原因并进行处理。
避免过度使用设备:要根据设备的额定功率、工作周期等参数合理安排镀膜任务,避免长时间连续高负荷运行。例如,对于一些小型的 PVD 涂层镀膜设备,连续工作时间过长可能会导致靶材过度消耗、电源过热等问题,从而缩短设备的使用寿命。
防止靶材污染:在镀膜过程中,要确保靶材的清洁。如果靶材被污染,会影响膜层的质量和性能。例如,在溅射镀膜时,靶材表面的杂质可能会随着溅射粒子一起沉积到基底上,导致膜层出现缺陷。因此,在使用前要对靶材进行清洁处理,在镀膜过程中也要尽量避免外来杂质接触靶材。
关机与维护工作
按照正确顺序关机:镀膜完成后,要按照操作手册规定的顺序关机。一般先关闭镀膜电源,然后停止气体供应,接着关闭真空系统,等真空室压力恢复到正常后,再关闭冷却系统和总电源。这样可以避免设备在不正常的状态下突然断电,防止设备损坏。
清理设备内部:关机后,在设备冷却到安全温度后,要对设备内部进行清理。清扫真空室、管道、夹具等部位残留的镀膜材料、灰尘等杂质。可以使用专门的清洁工具和清洁剂,如无尘布、酒精等,但要注意避免清洁剂对设备部件造成腐蚀。
设备维护与保养:定期对设备进行维护和保养,包括更换真空泵油、检查密封件、清洁靶材、校准仪器等。维护周期根据设备的使用频率和工作环境而定,一般建议每使用一定时间(如 1 - 3 个月)或完成一定的镀膜任务后进行一次整体的维护。同时,要建立设备维护档案,记录设备的运行情况、维护时间和内容等信息,以便及时发现设备的潜在问题。